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J-GLOBAL ID：201702216265534291   整理番号：17A0549925

プラズマベースイオン注入法の理解のためのシミュレーションソフト(PEGASUS)の初歩的な応用

著者 (8件)： 水胤友宏 (広島工大) ,  狩野卓也 (広島工大) ,  岡聡明 (広島工大) ,  平田良樹 (広島工大) ,  角川幸治 (広島工大) ,  山城朱音 (広島工大) ,  國近栄梨子 (広島工大) ,  田中武 (広島工大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.16a-P1-35  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *イオン注入 ,  プラズマ応用 ,  *計算機シミュレーション ,  ソフトウェア ,  *殺菌 ,  *プラズマシミュレーション ,  モンテカルロ法 ,  アルゴン ,  高周波放電 ,  *プラズマ殺菌 ,  *計算機利用 ,  *利用
準シソーラス用語： *プラズマイオン注入 ,  PICシミュレーション

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ ,  イオン注入法 ,  理解 ,  シミュレーションソフト ,  応用