文献
J-GLOBAL ID:201702227469671398
整理番号:17A0514559
歪みGe-on-Insulator基板の作製とデバイス応用
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出版者サイト
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著者 (2件):
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資料名:
巻:
2015
ページ:
109-110
発行年:
2017年03月
JST資料番号:
L8072A
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
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