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J-GLOBAL ID：201702239437770917   整理番号：17A0236190

抗電界差による基本モード/高次モード周波数切替可能なPZT/PTエピ膜分極反転共振子

著者 (6件)： 清水貴博 (早稲田大) ,  森剛志 (早稲田大) ,  森剛志 (名古屋工大 大学院) ,  柳谷隆彦 (早稲田大) ,  柳谷隆彦 (JST-さきがけ) ,  和佐清孝 (横浜市大)
資料名： 圧電材料・デバイスシンポジウム  (圧電材料・デバイスシンポジウム講演論文集)
巻： 2017  ページ： 107-112  発行年： 2017年02月06日 
JST資料番号： L5218A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *分極反転 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *チタン酸鉛 ,  エピタクシー ,  *誘電体薄膜 ,  *周波数制御 ,  *強誘電体 ,  *帯域フィルタ ,  *共振器 ,  *抗電場 ,  基準モード ,  振動モード ,  機能性セラミック ,  多層膜 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  薄膜成長 ,  X線回折 ,  チタン酸ストロンチウム ,  基板
準シソーラス用語： 周波数切替可能 ,  *共振器フィルタ ,  高次モード ,  共振モード ,  強誘電体セラミック ,  単層膜 ,  RFマグネトロンスパッタリング

分類 (3件)： フィルタ一般  (NC04021I) ,  共振器  (NC04050Y) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (9件)： 抗電界 ,  基本モード ,  高次モード ,  切替 ,  PZT ,  Pt ,  エピ膜 ,  分極反転 ,  共振子