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J-GLOBAL ID：201702246403169436   整理番号：17A0767383

2000 MM X線回折格子の調製研究【JST・京大機械翻訳】

Fabrication and Study of 2000 l/mm X-Ray Self-Standing Transmission Gratings

著者 (6件)： Li Hailiang (Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences) ,  Wu Jian (Institute of Laser Engineering, Beijing University of Technology) ,  Zhu Xiaoli (Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences) ,  Xie Changqing (Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences) ,  Liu Ming (Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences) ,  Cao Leifeng (Research Center of Laser Fusion , China Academy of Engineering Physics,)
資料名： Guangxue Xuebao  (Guangxue Xuebao)
巻： 29  号： 10  ページ： 2650-2655  発行年： 2009年 
JST資料番号： C2088A  ISSN： 0253-2239  CODEN： GUXUDC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 技術的要求条件を満たすために,シミュレーション格子モデルを,回折格子の回折によって設計し,そして,電子ビームとX線リソグラフィ技術を結合することによって,20002000 X線回折格子を製造するための新しい技術を研究した。まず第一に,電子ビームリソグラフィーとめっき技術を用いて,ポリイミド基板上にX線回折格子を作製した。その後、X線リソグラフィとめっき技術を利用して、図形図形の複製を実現し、その後、紫外線リソグラフィーとめっき技術を用いて、補強構造を作製し、最後に、腐食を用いてプラズマエッチングにより、Lou空透射格子の作製を完成させた。この新しい製造プロセスの結果を見る。調製した格子は滑らかで,デューティサイクルが合理的で,側壁がそれ,異なる格子間の整合性が良く,応用の要求を完全に満たすことができ,この製造技術が透過型X線回折光学素子の製造の良好な選択であることを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プラズマエッチング ,  格子模型 ,  めっき ,  生産工程 ,  電子ビーム ,  *X線回折 ,  *回折格子 ,  X線リソグラフィー ,  シミュレーション ,  生産技術 ,  電子ビームリソグラフィー
準シソーラス用語： 回折光学素子 ,  デューティサイクル ,  紫外線リソグラフィー , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： optical fabrication ,  self-standing transmission gratings ,  electronic-beam lithography ,  X-ray lithography ,  micro-electroplating

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (3件)： X線回折格子 ,  調製 ,  研究