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J-GLOBAL ID：201702259752762291   整理番号：17A0799709

様々なプラズマプロセスによるダイヤモンドライクカーボン薄膜の作製とその評価 3.プラズマイオン注入成膜法によるDLC膜の作製・評価

著者 (2件)： 滝澤一樹 (三井造船) ,  國次真輔 (岡山県工技セ)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 92  号： 6  ページ： 460-465  発行年： 2016年06月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プラズマイオン注入成膜法はプラズマ中に設置した被処理基材に対して高電圧パルスバイアスを印加して高エネルギーイオン照射を行うことにより基材上にDLC膜を形成する手法であるが,複雑な形状の基材に対しても付きまわりのよいDLC膜が形成可能であるだけでなく,下地基材の表面改質処理も含めて一連のプロセスにより連続してDLC膜形成を行うことができるため,密着性の高いDLC膜を形成することができる。これまでにも本手法を用いてDLC膜の形成する研究は数多くあり,国内外で実用化に向けて盛んに研究が行われている。当社では比較的大型である船舶部品へのDLC膜の適用に向けた研究開発を行っており,その一環として腐食性の強い環境下でも摺動特性の優れるDLC膜を形成するプロセスの開発を行った。本章では,複雑形状の船舶部品へのDLC膜の適用に向け,当社で行ったプラズマイオン注入成膜法を用いたDLC成膜技術の開発の取り組みについて紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ処理 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  薄膜成長 ,  *イオン注入 ,  *表面改質 ,  層 ,  密着性 ,  *DLC膜 ,  耐食性 ,  滑り ,  表面粗さ ,  膜応力 ,  材料
準シソーラス用語： *プラズマイオン注入 ,  傾斜層 ,  船舶用材料

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (14件)：

• 鈴木泰雄:電学論B 127, 349 (2007).
• M. Yatsuzuka et al., Vacuum 83, 190 (2009).
• K. Baba et al., Surf. Coat. Technol. 203, 2747 (2009).
• S. Miyagawa et al., Surf. Coat. Technol. 156, 322 (2002).
• 滝澤一樹他:配管技術57, 72 (2015).

タイトルに関連する用語 (8件)： プラズマプロセス ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  薄膜 ,  作製 ,  評価 ,  プラズマイオン注入 ,  成膜 ,  DLC膜