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J-GLOBAL ID：201702271419048796   整理番号：17A0576674

フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる励起状態面の表面加工に関する研究(第五報)-光表面励起効果の検討-

著者 (7件)： 松永啓伍 (九大) ,  林照剛 (九大) ,  黒河周平 (九大) ,  横尾英昭 (九大) ,  松川洋二 (九大) ,  長谷川登 (量子科学技術研究開発機構) ,  錦野将元 (量子科学技術研究開発機構)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F02  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 筆者らはパワー半導体基板の高効率・高精度加工技術の確立を目的として,フェムト秒レーザを利用したダブルパルスビーム照射による光励起加工を提案している。本研究では,近赤外光の超短パルスレーザによる光表面励起加工により,パワー半導体表面の微細加工,高効率化工を実現することを目指す。本報告では,レーザによって光励起した表面の物性変化を計測した結果についての報告を行う。(著者抄録)

シソーラス用語： *フェムト秒レーザ ,  レーザパルス ,  *レーザ加工 ,  *表面加工 ,  励起状態 ,  レーザ励起 ,  パルスレーザ ,  パルス幅 ,  電力トランジスタ ,  精密加工 ,  微細加工 ,  効率化 ,  近赤外線
準シソーラス用語： パワー半導体 ,  加工技術 ,  表面励起

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (8件)：

• Cooper, James A, et al. IEEE Transactions on Electron Devices 49.4 (2002) 658-664
• Adelmann, B. and R. Hellmann. Applied Physics A 122.7 (2016) 176-178
• 林 照剛 他. 精密工学会学術講演会講演論文集 2016年度精密工学会春季大会.
• 松永啓伍 他.精密工学会九州支部 2016年度 北九州地方講演会
• Palik, Edward D. Handbook of optical constants of solids. Vol. 3. Academic press, 1998.

タイトルに関連する用語 (5件)： フェムト秒レーザ ,  励起状態 ,  表面加工 ,  研究 ,  表面励起