文献

J-GLOBAL ID：201702288523543750   整理番号：17A1299332

Sub-10nmのパターニングを実現するポリスチレン-ポリメタクリル酸メチルブロック共重合体の側鎖変換

著者 (7件)： 吉田康平 (北大 大学院) ,  TIAN Lin (北大 大学院) ,  宮城賢 (東京応化工業) ,  磯野拓也 (北大 大学院) ,  山本拓矢 (北大 大学院) ,  田島健次 (北大 大学院) ,  佐藤敏文 (北大 大学院)
資料名： 高分子学会予稿集(CD-ROM)  (高分子学会討論会予稿集(CD-ROM))
巻： 66  号： 2  ページ： ROMBUNNO.1L09  発行年： 2017年09月06日 
JST資料番号： Z0703C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *共重合体 ,  *交換反応 ,  *ミクロ相分離 ,  赤外吸収スペクトル ,  陽子磁気共鳴 ,  示差走査熱量測定 ,  ガラス転移 ,  小角X線散乱 ,  高分子薄膜 ,  走査電子顕微鏡 ,  ラメラ ,  *パターン形成 ,  リソグラフィー ,  *ポリスチレン-メタクリル酸メチル
準シソーラス用語： 1H-NMR ,  *エステル-アミド交換反応 ,  *ナノパターニング

分類 (2件)： その他の高分子の反応  (CG03040H) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (5件)： パターニング ,  ポリスチレン ,  ポリメタクリル酸メチル ,  ブロック共重合体 ,  側鎖