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J-GLOBAL ID：201702292169039695   整理番号：17A0576904

非剛性切削機構によるマイクロスケール溝の製作 力フィードバック制御系の適用

Fabrication of micro-scale grooves in glass using a non-rigid cutting mechanism-Application of a force feedback control system-

著者 (8件)： HERRERA-GRANADOS German (AIST) ,  ASHIDA Kiwamu (AIST) ,  OGURA Ichiro (AIST) ,  OKAZAKI Yuichi (AIST) ,  MORITA Noboru (Chiba Univ.) ,  HIDAI Hirofumi (Chiba Univ.) ,  MATSUSAKA Souta (Chiba Univ.) ,  CHIBA Akira (Chiba Univ.)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.N68  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 長さ ,  溝 ,  *切削 ,  剛性 ,  力制御 ,  フィードバック制御 ,  制御系 ,  *微細加工 ,  機械的性質

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  切削一般  (QC02010V)

引用文献 (7件)：

• C. Evans, et al. “Structured”, “Textured” or “Engineered” Surfaces. Annals CIRP, 48/2, (1999), 541-556.
• A. Bruzzone, et al. Advances in engineered surfaces for functional surfaces for functional performance. Annals CIRP 57, (2008), 750-769.
• T. Moriwaki et al. Ultraprecision Ductile Cutting of Glass by Applying Ultrasonic Vibration. Annals CIRP, 41/1, (1992), 141-144.
• K. Kuriyama et al. Applying Constant Pressure Unit to Ductile Mode Cutting of Hard and Brittle Materials. Int. J. of Automation Tech. 7/3 (2013), 278-284.
• N. Kawasegi, et al. Nanomachining of Silicon Surface Using Atomic Force Microscope With Diamond Tip. J. Manuf. Sci. Eng. (2006) 128, 3, 723-729.

タイトルに関連する用語 (6件)： 剛性 ,  切削機構 ,  マイクロスケール ,  製作 ,  力フィードバック ,  制御系