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J-GLOBAL ID:201902243506453352   整理番号:19A1449022

純酸素放電下のO原子密度計測におけるオゾン干渉の分離

Compensation of ozone interference in atomic oxygen density measurement under oxygen discharge
著者 (4件):
資料名:
巻: 28th  ページ: 63-66  発行年: 2019年06月20日 
JST資料番号: L2676A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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放電式オゾン発生装置の解析において,放電場におけるO原子及びオゾンの挙動は非常に重要である。従来,純酸素放電場におけるO原子及びオゾンの密度計測は困難であったが,本研究ではレーザー誘起蛍光法によりO原子密度の時間変化を直接計測した。観測蛍光強度に対してO原子密度及びオゾン密度が及ぼす影響を考慮し,各密度の時間変化の観測を実現した。O原子密度とオゾン密度の増減からO原子再結合反応の影響を評価し,O原子密度範囲を推定した。(著者抄録)
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分類 (1件):
分類
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気体放電 

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