弾性エミッション加工した表面の走査トンネル顕微鏡法による評価

MORI Y; YAMAUCHI K; ENDO K; IDE T; TOYOTA H; NISHIZAWA K; HASEGAWA M

文献

J-GLOBAL ID：200902000354664633 整理番号：90A0296938

弾性エミッション加工した表面の走査トンネル顕微鏡法による評価

Evaluation of elastic emission machined surfaces by scanning tunneling microscopy.

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Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

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巻： 8 号： 1 ページ： 621-624 発行年： 1990年01月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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弾性エミッション加工(EEM)法で処理した表面と化学研磨した...

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