研究者
J-GLOBAL ID：200901018951644654
更新日: 2024年04月17日
遠藤 勝義
エンドウ カツヨシ | Endo Katsuyoshi
所属機関・部署：
職名：
教授
ホームページURL (1件)：
http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp
研究分野 (5件)：
加工学、生産工学
, 機械要素、トライボロジー
, 設計工学
, 計算科学
, 応用物理一般
研究キーワード (7件)：
形状測定
, 計算機シミュレーション
, 表面物性
, 物理計測
, Computational Simulation
, Surface Science
, Scientific Measurements
競争的資金等の研究課題 (44件)：
- 2010 - 2014 次世代高精度ミラー製作のための法線ベクトル追跡型高速ナノ精度形状測定法の開発
- 2010 - 2011 GaNデバイス基坂プロセス表面の原子構造・電子状態のキャラクタリゼーション
- 2004 - EEMプロセスの単位除去レートの向上
- 2001 - 2003 回折球面波を絶対基準とする位相シフト干渉計の開発と大口径光学素子の高精度形状計測
- 2003 - 原子論的生産技術の創出拠点
- 2002 - 2002 完全表面の創成
- 2002 - 回折球面波を絶対基準とする位相シフト干渉計の開発と大口径光学素子の高精度形状計測
- 2000 - 2001 微小共振球をプローブとした走査型キャビティーリングダウン顕微分光(CRDMS)法
- 1999 - 2001 超短パルス光によるナノ微小領域への近接場の局在化と極微細加工への応用
- 2001 - 完全表面の創成
- 2001 - 超短パルス光によるナノ微小領域への近接場の局在化と極微細加工への応用
- 1999 - 2000 微小共振球をプローブとした走査型CRDS顕微システムによる極微細構造の分光診断
- 1998 - 2000 光リング共振器と微小共振球とを検出系とした走査型近接場光学顕微鏡の開発
- 2000 - 微小共振球をプローブとした走査型CRDS顕微システムによる極微細構造の分光診断
- 2000 - 超短パルス光によるナノ微小領域への近接場の局在化と極微細加工への応用
- 2000 - 超純水のみによる電気化学的加工法の研究
- 1999 - 光リング共振器と微小共振球とを検出系とした走査型近接場光学顕微鏡の開発
- 1997 - 1998 粒子コードを用いた大気圧・高周波プラズマの構造解析
- 1996 - 1998 大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御
- 1998 - 大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御
- 1998 - 粒子コードを用いた大気圧・高周波プラズマの構造解析
- 1996 - 1997 STM/STSによる成膜・エッチングプロセスにおける固体表面反応素過程の解明
- 1997 - 大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御
- 1993 - 1995 光の近接場を利用した微細加工
- 1993 - 1994 イオン照射による薄膜用基板の表面制御に関する研究
- 1992 - 1993 走査型近接場光学顕微鏡による超精密加工表面の評価
- 1992 - 1993 EEM(Elastic Emission Machining)用粉末粒子の表面コーティングに関する研究
- 1991 - 1991 原子間力顕微鏡による超精密加工表面の評価
- 1990 - 1990 原子間力顕微鏡による超精密加工表面の評価
- 1989 - 1990 薄膜作製における基板表面制御に関する研究
- 1989 - 1990 EEM(Elastic Emission Machining)用用微細粉末粒子の表面処理装置の開発
- 1988 - 1988 弾性接触状態における固体表面間の相互作用力(付着力)に関する原子論的研究
- 1986 - 1987 切削工具の欠損寿命予測とその回避機能を付与したCNCシステムに関する研究
- 1986 - 1986 弾性接触状態における摩擦に関する原子論的研究(超高真空中での摩擦力の測定)
- 1985 - 1986 エンジニアリングセラミックスの高速マイクロ切削に関する研究
- 1985 - 1985 弾性接触状態における2固体表面間の摩擦に関する原子論的研究
- SREM/STMによる超精密加工表面の評価
- 固体表面間の相互作用力に関する研究
- 高圧力・高周波プラズマの計測と制御
- STM/STSによる超精密加工表面の評価
- Evaluation of Ultra-Precision Machined Surfaces by SREM/STM
- Interaction Force between solid Surfaces
- Diagnostics and Control of RF Plasma under High Pressure
- Evaluation of Ultra-Precision Machined Surfaces by STM/STS
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論文 (342件)：
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Y. Ohkubo, D. Fukuoka, Y. Seto, M. Nishino, K. Endo, K. Yamamura. Preparation of platinum-free manganese oxide (MnOx) catalyst film for H2O2 decomposition in contact-lens cleaning. Thin Solid Films. 2023. 782. 140041(pp.1-8)
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E. Miyake, Y. Seto, M. Nishino, I. Komatsu, K. Endo, K. Yamamura, Y. Ohkubo. Surface modification and adhesive-free adhesion of polytetrafluoroethylene (PTFE) and silicone gel containing oleophilic SiO2 powder by plasma treatment. RSC Advances. 2023. 13. 3. 1834-1841
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Takashi Miyawaki, Katsuyoshi Endo. Reduction of motion axis by sensitivity calibration of sensor in shape measurement instrument using normal vector tracing. Review of Scientific Instruments. 2023. 94. 015114
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Takashi Miyawaki, Katsuyoshi Endo. Simultaneous measurement of fine pattern Shape and overall shape by a nano-profiler. Review of Scientific Instruments. 2022. 93. 125113
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Takashi Miyawaki, Katsuyoshi Endo. Cylindrical surface shape measurement method and measurement comparison. Optical Engineering. 2022. 61. Issue 12. 124106
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MISC (306件)：
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大久保雄司, 柴原正文, 本田幸司, 長谷朝博, 遠藤勝義, 山村和也. AFM-IRを用いたポリテトラフルオロエチレン(PTFE)/天然ゴム(NR)接着体の界面分析. 日本接着学会年次大会講演要旨集(CD-ROM). 2019. 57th
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貝原大介, 青木智紀, 清野智史, 西野実沙, 中川哲哉, 遠藤勝義, 山村和也, 大久保雄司, 森理, 佐々木理衣. ポリドーパミンを用いた過酸化水素分解用Pt触媒の耐久性向上. 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集. 2019. 2019
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貝原大介, 清野智史, 西野実沙, 福岡大記, 中川哲哉, 遠藤勝義, 森理, 佐々木理衣, 大久保雄司. ポリドーパミン(PDA)製膜時間の短縮化とPt/PDA触媒のH2O2分解性能の評価. 表面技術協会講演大会講演要旨集. 2019. 140th
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孫栄硯, 大久保雄司, 遠藤勝義, 山村和也. 大気圧プラズマを用いた金型用反応焼結SiC材のダメージフリー形状創成・仕上げ加工技術-プラズマCVMの基礎加工特性-. 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集. 2017. 2017
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Y. Ohkubo, K. Ishihara, H. Sato, M. Shibahara, A. Nagatani, K. Honda, K. Endo, K. Yamamura. Adhesive-free adhesion between polytetrafluoroethylene (PTFE) and isobutylene-isoprene rubber (IIR) via heat-assisted plasma treatment (vol 7, pg 6432, 2017). RSC ADVANCES. 2017. 7. 63. 39928-39928
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特許 (12件)：
書籍 (6件)：
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超精密加工と表面科学 原子レベルの生産技術
大阪大学出版会 2014
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Stoichiometry and Materials Science
In Tech 2012
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創立110周年記念機械工学最近10年のあゆみ2.11 原子論的生産技術の創出-ナノメーターレベルの表面創成システムの開発
日本機械工学会 2007
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究極の物づくり-原子を操る-
大阪大学出版会 2002
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超精密加工技術
コロナ社 1998
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Works (10件)：
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グローバルCOE 高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点
2009 -
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Center of Excellence for Atomically Controlled Fabrication Technology
2009 -
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高精度X線ミラーの超精密加工と形状計測に関する研究
2004 -
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EEMプロセスの単位除去レートの向上
2004 -
-
原子論的生産技術の創出拠点
2004 -
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学歴 (5件)：
- - 1982 大阪大学 工学研究科 精密工学
- - 1982 大阪大学
- - 1980 大阪大学 工学部 精密工学科
- - 1980 大阪大学 工学部 精密工学
- - 1980 大阪大学
学位 (1件)：
経歴 (8件)：
- 2001/06 - 現在 大阪大学教授 大学院工学研究科超精密科学研究センター 教授
- 2001/06/01 - 現在 大阪大学 工学研究科 附属超精密科学研究センター 教授
- 2003/04 - 2008/03 附属超精密科学研究センター センター長(併)
- 1992/04 - 2001/05 大阪大学助教授 工学部精密工学科 助教授
- 1986/07 - 1992/03 大阪大学助手
- 1986 - 1992 Osaka University, Research Assistant
- 1982/03 - 1986/06 金沢大学助手
- 1982 - 1986 Kanazawa University, Research Assistant
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受賞 (11件)：
- 2009/03 - 社団法人精密工学会 精密工学会功労賞
- 2006/11 - The 8th International Conference on Progress of Machining Technology Best Paper Award 2006
- 2006/02 - 日本放射光学会 第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム学生会員発表賞
- 2006 - Best Paper Award 2006
- 2003/03 - 精密工学会 精密工学会賞 ナノパーティクル測定機によるシリコンウエハ面のナノ欠陥計測
- 1999/12 - 社団法人日本機械学会 社団法人 日本機械学会 生産加工・工作機械部門 優秀講演論文表彰
- 1995/07 - 精密工学会関西支部 講演論文賞 エキシマレーザーによる基板表面SiH4凝集相からの成膜
- 1995/03 - 精密工学会 精密工学会沼田記念論文賞 球状微小突起をプローブ とした走査型近接場光学顕微鏡
- 1995 - 精密工学会 沼田記念論文賞
- 1992/03 - 精密工学会 精密工学会賞 ダイヤモンドと金属の表面原子間の結合力に関する研究
- 1991 - 金属学会金属組織写真奨励賞
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所属学会 (5件)：
超精密加工専門委員会
, 応用物理学会
, 精密工学会
, Japan Society of Applied Physics
, The Japan Society for Presicion Engineering
