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J-GLOBAL ID：200902014417716958   整理番号：91A0496082

3/4λ共振型マイクロ波プラズマ光源の試作

著者 (5件)： 橋本佳三 (大阪大 工) ,  宮武健一郎 (大阪大 工) ,  沖野晃俊 (大阪大 工) ,  内田照雄 (大阪大 工) ,  南茂夫 (大阪大 工)
資料名： 日本分光学会講演要旨集  (日本分光学会春季講演会・シンポジウム講演要旨集)
巻： 1991  号： 春季  ページ： 3  発行年： 1991年05月 
JST資料番号： L0419A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 共振 ,  マイクロ波 ,  プラズマ光源 ,  試作