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J-GLOBAL ID：200902029250829388   整理番号：91A0571780

二重管マイクロ波誘導プラズマ光源の共振器内電界強度計算

Calculation of electric field in the MIP cavity with concentric discharge tubes.

著者 (4件)： 沖野晃俊 (大阪大 工) ,  宮武健一郎 (大阪大 工) ,  内田照雄 (大阪大 工) ,  南茂夫 (大阪大 工)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 38th  号： Pt 1  ページ： 28  発行年： 1991年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 二重管 ,  マイクロ波誘導プラズマ ,  電界強度 ,  計算