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J-GLOBAL ID：200902083431854141   整理番号：92A0328384

超微粒子の静電高速衝撃によるDLC膜形成の試み

Preparing and Adhesion Characteristics of Diamond-like Carbon Film by Electrostatic Microparticle-impact Process.

著者 (4件)： 井出たかし (愛媛大) ,  八木秀次 (愛媛大) ,  豊田洋通 (愛媛大) ,  森勇蔵 (大阪大)
資料名： 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集  (日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演概要集)
巻： 30th  ページ： 355-357  発行年： 1992年02月 
JST資料番号： L0015A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 平行平板状電極間での炭素超微粒子の高速衝撃付着に基づくDLC...

シソーラス用語： 単分子層 ,...

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分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 微粒子 ,  衝撃 ,  DLC膜 ,  試み