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J-GLOBAL ID：200902099022469299   整理番号：90A0292497

気相合成によるダイヤモンドのラップ工具への応用

Application of gas-phase synthesized diamonds to lapping tools.

著者 (3件)： 大竹尚登 (東京工大 工) ,  中村正弘 (東京工大 工) ,  吉川昌範 (東京工大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 56  号： 2  ページ： 343-348  発行年： 1990年02月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロ波プラズマCVD法により,モリブデン基板上にメタン濃...

シソーラス用語： Ramanスペクトル ,...
準シソーラス用語： ラップ仕上

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分類 (3件)： 研削  (QC03000R) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

引用文献 (7件)：

• 1) M. Kamo, Y. Sato, S. Matsumoto and N. Setaka : Diamond Synthesis from Gas Phase in Microwave Plasma, J. Cryst. Growth. 62, (1983) 642.
• 2) K. Kurihara, K. Sasaki, M. Kawarada and N. Koshino : High Rate Synthesis of Diamond by dc Plasma Jet Chemical Vapor Deposition, Appl. Phys. Lett., 52, (1988) 6.
• 3) 大竹尚登, 木本裕司, 吉川昌範 : 焼結ダイヤモンド上へのダイヤモンド気相合成とその切削工具への応用, 精密工学会誌, 55, (1989) 1645.
• 4) 矢津修示 : 大粒の合成ダイヤモンドでヒートシンク, ニューダイヤモンド, 1-1 (1985) 42.
• 5) 藤森直治 : ダイヤモンド半導体, ニューダイヤモンド, 2-2 (1986) 10.

タイトルに関連する用語 (5件)： 気相合成 ,  ダイヤモンド ,  ラップ ,  工具 ,  応用