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J-GLOBAL ID：200902124732407742   整理番号：02A0066534

ドライプロセスによる表面処理 気相成長によるダイヤモンド単結晶表面の調整

著者 (5件)： 蒲生(西谷)美香 (筑波大 先端学際領域研セ) ,  高見知秀 (ビジョンアーツ リサーチ) ,  中川清晴 (早稲田大 理工) ,  竹内貞雄 (日本工大 先端材料技研セ) ,  安藤寿浩 (物質・材料研究機構 物質研)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 52  号： 12  ページ： 827-832  発行年： 2001年12月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 市販の合成単結晶ダイヤモンド基板の表面に,マイクロ波プラズマ...

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

引用文献 (31件)：

• TENNANT, S. Phil. Trans. R. Soc. 1797, 87, 123
• BUNDY, F. P. Nature. 1955, 176, 51
• MATSUMOTO, S. Jpn. J. Appl. Phys. 1982, 21, L183
• KAWARADA, H. Surf. Sci. Rep. 1996, 26, 205
• MATSUMOTO, S. Carbon. 1987, 15, 299

タイトルに関連する用語 (4件)： ドライプロセス ,  表面処理 ,  気相成長 ,  ダイヤモンド単結晶