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J-GLOBAL ID：200902125820898124   整理番号：03A0005676

LD励起YAG第2高調波によるITO膜の除去加工

Precision Removal of ITO Film by LD-pumped SHG YAG Laser.

著者 (3件)： 岡本康寛 (岡山大 工) ,  宇野義幸 (岡山大 工) ,  平尾泰之 (岡山大 大学院)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 68  号： 12  ページ： 1564-1569  発行年： 2002年12月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究ではLD励起式QスイッチYAGレーザによる集光性の良い...

シソーラス用語： *酸化インジウム ,...
準シソーラス用語： ITO【固溶体】

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分類 (2件)： 表示機器  (NC06030Q) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (11件)：

• 井出文雄. ここまで来た透明樹脂. 2001, 189
• 高岡勉. ITO膜の紫外域固体レーザによる加工技術の開発. レーザ加工学会誌. 2001, 8, 3, 256
• YAVAS, O. High-speed Maskless Laser Patterning of Indium Tin Oxide Thin Films. Applied Physics Letters. 1998, 73, 18, 2558
• 西原啓三. エキシマレーザを用いたITO膜の精密微細加工. 日本機械学会中国四国学生会第31回学生員卒業研究発表講演会講演前刷集. 2001, 197
• KHACHATORIANS, A. Proceedings of the 1986 International Symposium on microelectronics (Int. Soc. Hybrid Microelectron., Reston, 1986). 1986, 100

タイトルに関連する用語 (6件)： LD ,  励起 ,  YAG ,  第2高調波 ,  ITO膜 ,  除去加工