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J-GLOBAL ID：200902148789227194   整理番号：95A0042584

ワイヤ・イオン・プラズマ源の直流放電特性

Direct-current discharge characteristics in wire ion, plasma source.

著者 (5件)： 浦井一 (東京工大) ,  沖野晃俊 (東京工大) ,  堀田栄喜 (東京工大) ,  安井祐之 (東芝) ,  玉川徹 (東芝)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： EP-94  号： 91-101  ページ： 47-54  発行年： 1994年11月22日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高繰返し可能なパルスイオン源の開発を目的とした標記プラズマ源...

シソーラス用語： プラズマ源 ,...
準シソーラス用語： 圧力依存性

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分類 (2件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  プラズマ装置  (BJ02082I)

タイトルに関連する用語 (5件)： ワイヤ ,  イオン ,  プラズマ源 ,  直流 ,  放電特性