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J-GLOBAL ID：200902152403711760   整理番号：93A0192790

ダイヤモンド合成プラズマジェットの状態解析

Calculation of State of Plasma Jet in Diamond Film Preparation.

著者 (3件)： 大竹尚登 (東京工大 工) ,  池上昌之 (東京工大 大学院) ,  吉川昌範 (東京工大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 59  号： 1  ページ： 131-136  発行年： 1993年01月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： アーク放電プラズマジェットCVD法では,ダイヤモンドを気相か...

シソーラス用語： プラズマジェット ,...
準シソーラス用語： ダイヤモンド薄膜

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分類 (1件)： プラズマ流,プラズマの電磁流体力学  (BJ02040I)

引用文献 (4件)：

• 1) 大竹尚登, 栗山康彦, 吉川昌範, 尾花 博, 鬼頭昌之, 斉藤弘 : ダイヤモンド高速合成用アーク放電プラズマ装置の試作, 精密工学会誌.57.12 (1989) 2163.
• 2) F. K. Taggart : Plasma Chemistry in Electric Discharge, El sev i er, Amsterdam (1967) 228.
• 3) E. U. Condon and G. H.Shortley : The Theory of Atomic Spectra, Cambridge at the University Press, (1953).
• 4) 太田与洋, 三友 亨, 近藤英一, 大塚研一 : 各種原料ガス中の供給時のマイクロ波プラズマ中のガス組成解析, 第4回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集, 127.

タイトルに関連する用語 (3件)： ダイヤモンド ,  プラズマジェット ,  解析