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J-GLOBAL ID:200902172725952373   整理番号:02A0204028

パルス変調によるヘリウム誘導結合プラズマの生成とその特性測定

Generation and characteristics of a pulse-modulated helium inductively coupled plasma.
著者 (5件):
資料名:
巻: 51  号:ページ: 105-110  発行年: 2002年02月05日 
JST資料番号: F0008A  ISSN: 0525-1931  CODEN: BNSKAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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大気圧ヘリウム誘導結合プラズマは,その高いイオン化能力により...
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分類 (2件):
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プラズマ一般  ,  物理分析一般 
引用文献 (16件):
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