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J-GLOBAL ID：200902173277989216   整理番号：03A0011487

局所電気化学法によるセラミックス薄膜の直接パターニング

Direct Patterning of Ceramic Films by locally Activated Electrochemical Reactions.

著者 (4件)： 藤原武 (東工大 応セラ研) ,  中上卓哉 (東工大 応セラ研) ,  渡辺友亮 (東工大 応セラ研) ,  吉村昌弘 (東工大 応セラ研)
資料名： 固体の反応性討論会講演予稿集  (固体の反応性討論会要旨集)
巻： 13th  ページ： 43-45  発行年： 2002年11月14日 
JST資料番号： L0839A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 何億年も昔から植物やプランクトンは無機材料からなる細胞壁や骨...

シソーラス用語： *コバルト酸塩 ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電気化学 ,  セラミックス ,  薄膜 ,  パターニング