大気圧トーラス形状高純度プラズマの生成

文献

J-GLOBAL ID：200902187605001178 整理番号：93A0990229

Production of Atomospheric Pressure High Purity Toroidal Plasma.

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資料名：
巻： 69 号： 10 ページ： 1242-1249 発行年： 1993年10月
JST資料番号： G0114A ISSN： 0918-7928 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

トーラス形状の石英放電管においてRFによって誘導励起された電...

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プラズマ生成・加熱

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