Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いたダイアフラム型マイクロアクチュエータの動特性

文献

J-GLOBAL ID：200902189245239367 整理番号：00A0847113

Dynamic characteristics of diaphragm microactuators utilizing sputter-deposited Ti-Ni shape memory alloy thin films.

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資料名：
巻： 2000 号： Vol.3 ページ： 399-400 発行年： 2000年07月31日
JST資料番号： X0587B 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

Ti-Ni合金スパッタ薄膜は,冷却効率が上昇するため,応答性...

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その他の制御機器 , その他の金属組織学

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