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J-GLOBAL ID：200902202141009455   整理番号：03A0549984

静電容量型湿度センサのドリフト現象に対するセンシング膜厚の効果

Effect of Sensing Film Thickness on Drift Phenomenon of Capacitive-Type Humidity Sensors

著者 (6件)： MATSUGUCHI M (Ehime Univ., Matsuyama, JPN) ,  TAKAHASHI Y (Ehime Univ., Matsuyama, JPN) ,  KUROIWA T (Yamatake Corp., Fujisawa, JPN) ,  OGURA T (Yamatake Corp., Fujisawa, JPN) ,  OBARA S (Yamatake Corp., Fujisawa, JPN) ,  SAKAI Y (Ehime Univ., Matsuyama, JPN)
資料名： Journal of the Electrochemical Society  (Journal of the Electrochemical Society)
巻： 150  号： 8  ページ： H192-H195  発行年： 2003年08月 
JST資料番号： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高温で湿潤な雰囲気中における静電容量型湿度センサのドリフト現...

シソーラス用語： *静電容量 ,...

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分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  高分子固体のその他の性質  (CG02025L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 静電容量 ,  湿度センサ ,  ドリフト ,  現象 ,  センシング ,  膜厚