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J-GLOBAL ID：200902205754924937   整理番号：09A0658942

大気圧非平衡マイクロ波放電および高周波直流パルス放電プラズマジェットの発光特性

Optical Emission Characteristics of Atmospheric-Pressure Nonequilibrium Microwave Discharge and High-Frequency DC Pulse Discharge Plasma Jets

著者 (4件)： YUJI Toshifumi (Univ. Miyazaki, Miyazaki, JPN) ,  FUJII Shuitsu (ADTEC Plasma Technol. Co., Ltd., Fukuyama, JPN) ,  MUNGKUNG Narong (King Mongkut’s Univ. Technol., Bangkok, THA) ,  AKATSUKA Hiroshi (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 37  号： 6,Pt.1  ページ： 839-845  発行年： 2009年06月 
JST資料番号： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記プラズマジェットによる表面処理機構の解明との関連で,発光分光により振動および回転温度を測定した。2.45GHzマイクロ波発振器と5~10kHz高周波直流パルス電源を用い,Ar-N₂混合ガスを供給してトーチ型大気圧非平衡放電プラズマジェットを発生した。励起パワーは100~150Wで,N₂流率を変えて,2種のプラズマジェットについて振動温度と回転温度(0.18~0.27eV)を比較した。マイクロ波放電プラズマジェットでは,振動温度と回転温度がかなり低いことが判明した。

シソーラス用語： *マイクロ波放電 ,  *プラズマジェット ,  高周波放電 ,  非平衡状態 ,  振動温度 ,  回転温度 ,  プラズマ分光 ,  大気圧放電
準シソーラス用語： *発光分光

分類 (3件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (8件)： 大気圧 ,  非平衡 ,  マイクロ波放電 ,  高周波 ,  直流 ,  パルス放電 ,  プラズマジェット ,  発光特性