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J-GLOBAL ID：200902208789383717   整理番号：07A0948973

超音波振動攪拌機構を用いた水熱合成法によるPZT薄膜アクチュエータ

著者 (3件)： 甲昌男 (岡山大) ,  神田岳文 (岡山大) ,  鈴森康一 (岡山大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2007  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： J66  発行年： 2007年09月03日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *アクチュエータ ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,...

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分類 (1件)： 電気式制御機器  (IC02020Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 超音波振動 ,  攪拌 ,  水熱合成法 ,  PZT ,  薄膜 ,  アクチュエータ