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J-GLOBAL ID：200902219400032517   整理番号：09A0454898

液中プラズマを利用したCVD新技術に関する研究

著者 (7件)： 野村信福 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  豊田洋通 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  山下浩 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  向笠忍 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  下俊久 (豊田自動織機 研究開発セ) ,  奥田真也 (豊田自動織機 研究開発セ) ,  村瀬仁俊 (豊田自動織機 研究開発セ)
資料名： 愛媛大学社会連携推進機構研究成果報告書
号： 2  ページ： 96-100  発行年： 2009年03月 
JST資料番号： L5786B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液中プラズマ法を化学蒸着に応用することをめざし,水とエタノールを用いた27.12MHzの高周波液中プラズマの放電特性を調べた。高周波プラズマの電流電圧特性から,液中プラズマの放電形態がグロー放電であることを確認した。この装置においてエタノールおよびメタノールを用い,DLC膜の作製をおこなった。アルミニウム基板上のDLC膜の硬度をナノインデンテーション法で測定した。エタノールでは,電力200Wおよび処理時間15sにおいて硬度1.66GPa,またメタノールでは電力200Wおよび処理時間5sにおいて硬度12.93GPaを得た。

シソーラス用語： プラズマ応用 ,  *グロー放電 ,  化学蒸着 ,  水 ,  高周波放電 ,  電流電圧特性 ,  *DLC膜 ,  ナノインデンテーション ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  *プラズマCVD ,  RF放電 ,  微小硬さ ,  脂肪族アルコール ,  *液中 ,  Vickers硬さ
準シソーラス用語： Vickers硬度

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

物質索引 (2件)： エタノール ,  メタノール

タイトルに関連する用語 (4件)： 液中プラズマ ,  CVD ,  新技術 ,  研究