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J-GLOBAL ID：200902220035215044   整理番号：08A0943372

ガスクラスターイオンビーム照射による平坦化の表面形状依存性

著者 (6件)： 廣田智一 (兵庫県大 大学院工学研究科 インキュベーションセ) ,  豊田紀章 (兵庫県大 大学院工学研究科 インキュベーションセ) ,  山田公 (兵庫県大 大学院工学研究科 インキュベーションセ) ,  長藤圭介 (東大 工) ,  濱口哲也 (東大 工) ,  谷弘詞 (関西大 システム理工)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 69th  号： 2  ページ： 628  発行年： 2008年09月02日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *クラスタイオン ,  *炭素材 ,  *金属薄膜 ,  電子ビームリソグラフィー ,  原子間力顕微鏡 ,  *イオン照射 ,  イオンビーム ,  表面性状 ,  *表面形状 ,  *アモルファスカーボン
準シソーラス用語： AFM【顕微鏡】 ,  *非晶質炭素 ,  *平坦化

分類 (2件)： 原子・分子のクラスタ  (BH09030O) ,  放射線による構造と物性の変化一般  (BK16121W)

タイトルに関連する用語 (3件)： ガスクラスターイオンビーム ,  平坦化 ,  形状依存性