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J-GLOBAL ID：200902222523684560   整理番号：06A0689575

減圧マルチガス誘導結合プラズマ源

Low Pressure Multi-Gas Inductively Coupled Plasma Source

著者 (7件)： 景安泰千 (東京工大) ,  瀧本和靖 (東京工大) ,  熊谷航 (東京工大) ,  宮原秀一 (東京工大) ,  渡邊正人 (東京工大) ,  堀田栄喜 (東京工大) ,  沖野晃俊 (東京工大)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PST-06  号： 54-74  ページ： 93-97  発行年： 2006年08月07日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ガス気流によるプラズマの安定化及びプラズマトーチの冷却法を用...

シソーラス用語： *プラズマ源 ,...
準シソーラス用語： 圧力依存性

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分類 (1件)： プラズマ装置  (BJ02082I)

引用文献 (16件)：

• S. Chan and Montaser: “A helium inductively coupled plasma for atomic emission spectrometry”, Spectrochem, Acta part B, p 1467-1472(1985).
• H. Miyahara, T. Doi, Y. Mizusawa, Y. Hayashi, E. Hotta and A. Okino: “Spectroscopic Measurements of Plasma Properties in a Gas-Cooled Argon/Helium 1CP”, Winter Conference on Plasma Spectrochemistry, p284(2004).
• A. Okino, H. Miyahara, H. Yabuta, M. Watanabe and E. Hotta: “Development of Externally Air-cooled ICP Torch both for Argon and Helium Plasma”, 49th ICASS, p 72(2003).
• 宮原秀一, 土肥隆行, 水澤陽一, 堀田栄喜, 沖野晃俊: “アルゴン/ヘリウム共用誘導結合プラズマにおける冷却ガスの検討”, 分析化学, Vol.53, No, 8, p817-825(2004).
• Y. Mizusawa, T. Doi, H. Miyahara, E. Hotta and A. Okino: “Study of gas flows in a multi-gas inductively coupled plasma source”, PITTCON, 490-p16(2005).

タイトルに関連する用語 (3件)： 減圧 ,  マルチ ,  誘導結合プラズマ