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J-GLOBAL ID：200902228295654573   整理番号：08A1137074

マイクロリアクター マイクロプラズマを用いたシリコンナノ粒子合成

著者 (1件)： 野崎智洋 (東京工大)
資料名： 伝熱  (Journal of the Heat Transfer Society of Japan)
巻： 47  号： 201  ページ： 1-7  発行年： 2008年10月 
JST資料番号： Y0128A  ISSN： 1344-8692  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本報ではシリコンナノ粒子合成への応用についてマイクロプラズマの特徴,問題点,展望を紹介し解説した。主な内容項目を次に示した。1)概要:マイクロプラズマによるシリコンナノ粒子合成に関する研究の経緯,2)マイクロプラズマとは:マイクロプラズマの歴史(微量元素分析に用いられる様々なマイクロプラズマ),マイクロプラズマの特徴,3)シリコンナノ粒子の合成と応用:シリコンナノ粒子(Si-NP)とは(結晶サイズにより青色から赤色まで蛍光を発するCdSeナノ粒子),シリコンナノ粒子の応用(薄膜太陽電池にSi-NPを組込んだオールシリコン・タンデムセル),従来のSi-NP合成方法(一般的なシリコンナノ粒子の合成法,SiO₂に配列されたSi-NP超格子構造),マイクロプラズマによるSi-NP合成(合成の概要),高気圧がナノ粒子合成に適している理由(Si₅クラスター生成速度の圧力依存性),4)可視発光シリコンナノ粒子の合成:予備実験(Si-NPのTEM像と水素濃度に対する発光スペクトル(バンドギャップ)の変化),マイクロプラズマの致命的な欠点,大量合成に向けたマイクロプラズマの改良(実験装置の概略とマイクロプラズマの写真),Si-NPの結晶制御(直径25mmのフィルターに捕集したSi-NPが発光している様子および透過型電子顕微鏡のイメージ),太陽電池のプロトタイプ作製を目指して。

シソーラス用語： *太陽電池 ,  マイクロリアクタ ,  *ケイ素 ,  *ナノ粒子 ,  プロトタイプ ,  高気圧 ,  *プラズマ合成 ,  圧力効果 ,  行為

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  太陽電池  (NC03084O)

引用文献 (16件)：

• Microplasmas : http://plasma.kuee.kyoto-u.ac.jp/tokutei429/. 2008
• 橘邦英監修. マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用. 2006
• IZA, F. Sources, Particle Kinetics, and Biomedical Applications. Plasma Process. Polym. 2008, 5, 322
• 沖野晃俊. マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用. 282-292
• 橘邦英. マイクロプラズマの基礎と展望. 応用物理. 2006, 75, 4, 399

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロリアクター ,  マイクロプラズマ ,  シリコン ,  ナノ粒子合成