文献

J-GLOBAL ID：200902231094073557   整理番号：09A1021184

空気圧アクチュエータを用いた粗微動ステージ

Fine and Coarse dual Stage using Pneumatic Actuators

著者 (5件)： 新井豪 (東京工大) ,  川嶋健嗣 (東京工大) ,  只野耕太郎 (東京工大) ,  藤田壽憲 (東京電機大) ,  香川利春 (東京工大)
資料名： 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM)  (日本ロボット学会学術講演会(CD-ROM))
巻： 27th  ページ： ROMBUNNO.3B2-03  発行年： 2009年09月15日 
JST資料番号： L4867A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 空気圧アクチュエータは発熱がない,磁場の影響を受けないなどの特徴を有している。本研究では,ナノメートルオーダーでの位置決めが可能な空気圧アクチュエータを用いた粗微動ステージを開発し,その制御系を構築,位置決め実験を行った。粗動ステージの速度フィードバック信号を微動ステージに与える制御方法を実装し,ジャーク最小軌道を与えた実験を行い,移動距離100mmで位置決め誤差30nm以下を達成した。(著者抄録)

シソーラス用語： *アクチュエータ ,  微動 ,  *位置決め ,  制御系 ,  フィードバック制御 ,  *空気圧機器 ,  *台 ,  追従制御 ,  *空気圧アクチュエータ

分類 (2件)： その他の機械要素  (QB01120F) ,  流体式制御機器  (IC02030J)

タイトルに関連する用語 (3件)： 空気圧アクチュエータ ,  微動 ,  ステージ