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J-GLOBAL ID：200902232204481210   整理番号：05A0504242

SIサイリスタ電源を用いたEUV露光光源の開発

著者 (9件)： 堀田栄喜 (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  宋仁こう (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  岡本光男 (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  北出恵太 (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  林靖 (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  渡辺正人 (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  沖野晃俊 (東京工大 大学院総合理工学研究科) ,  安岡康一 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  堀岡一彦 (東京工大 大学院総合理工学研究科)
資料名： SIデバイスシンポジウム講演論文集  (Proceedings. Symposium of Static Induction Devices)
巻： 16th  ページ： 37-42  発行年： 2003年06月13日 
JST資料番号： L3159A  ISSN： 1340-5853  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *静電誘導サイリスタ ,...
準シソーラス用語： 集光角 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  サイリスタ  (NC03060C)

タイトルに関連する用語 (5件)： Si ,  サイリスタ ,  EUV ,  露光光源 ,  開発