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J-GLOBAL ID：200902242881759727   整理番号：09A0519613

適切な温度での先進的インクジェット蒸着法による濃密セリウム酸化物薄膜の直接的パターニング

Direct patterning of dense cerium oxide thin film by developed ink-jet deposition method at moderate temperatures

著者 (6件)： GALLAGE R. (Materials and Structures Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Yokohama, JPN) ,  MATSUO A. (Materials and Structures Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Yokohama, JPN) ,  FUJIWARA T. (Materials and Structures Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Yokohama, JPN) ,  WATANABE T. (Materials and Structures Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Yokohama, JPN) ,  MATSUSHITA N. (Materials and Structures Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Yokohama, JPN) ,  YOSHIMURA M. (Materials and Structures Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4259 Nagatsuta, Yokohama, JPN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 517  号： 16  ページ： 4515-4519  発行年： 2009年06月30日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： セリア膜の直接的な生成とパターンが,前駆体溶液がどんな加熱後処理なしでも要求されたパターンにしたがって加熱された基材(≦300°C)に向かって噴射されたインクジェット蒸着法で行なわれた。X線回折とラマン分光学的解析は,形成された相が任意の不純物相でCeO₂を結晶化させ,10nm以下のナノサイズの結晶より構成されることを示した。厚さは数百ナノメートルであり,パターンの幅は約350μmであった。膜は濃密度で,可視領域で高い光学的透明性(90%以上)を示した。走査電子顕微鏡の分析は,薄膜パターンに割れが無く,そして全ての膜は基材に対して良い粘着性を示すことを明らかにした。Copyright 2009 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： インクジェット印刷 ,  蒸着 ,  *酸化セリウム ,  *薄膜 ,  *パターン形成 ,  前駆体 ,  溶液 ,  加熱 ,  後処理 ,  基板 ,  X線回折 ,  Raman分光法 ,  結晶化 ,  ナノ結晶 ,  厚み ,  幅 ,  可視光 ,  透明度 ,  走査電子顕微鏡 ,  亀裂 ,  粘着力

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： インクジェット ,  蒸着 ,  セリウム ,  酸化物薄膜 ,  パターニング