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J-GLOBAL ID：200902267681257380   整理番号：03A0389646

キャピラリーZピンチ放電プラズマを用いたEUV光源の開発

著者 (7件)： 宋仁こう (東京工大) ,  岡本光男 (東京工大) ,  北出恵太 (東京工大) ,  渡辺正人 (東京工大) ,  沖野晃俊 (東京工大) ,  堀岡一彦 (東京工大) ,  堀田栄喜 (東京工大)
資料名： 日本分光学会講演要旨集  (日本分光学会春季講演会・シンポジウム講演要旨集)
巻： 2003  号： 春季  ページ： 86  発行年： 2003年05月14日 
JST資料番号： L0419A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： Zピンチ ,...

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分類 (1件)： 光源,照明器具  (NB12020F)

タイトルに関連する用語 (5件)： キャピラリー ,  Zピンチ ,  放電プラズマ ,  EUV光源 ,  開発