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J-GLOBAL ID：200902267693230096   整理番号：06A0633942

ガスジェットZピンチプラズマを用いたデブリフリーEUV光源の開発

著者 (9件)： 渡辺正人 (東京工大 大学院) ,  SONG I. (東京工大 大学院) ,  坂本敏郎 (東京工大 大学院) ,  小林靖典 (東京工大 大学院) ,  飯塚直哉 (東京工大 大学院) ,  岸望 (東京工大 大学院) ,  MOHANTY S.R. (東京工大 大学院) ,  沖野晃俊 (東京工大 大学院) ,  堀田栄喜 (東京工大 大学院)
資料名： 核融合エネルギー連合講演会予稿集  (核融合エネルギー連合講演会)
巻： 6th  ページ： 184  発行年： 2006年 
JST資料番号： L2753A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマ ,...
準シソーラス用語： Zピンチプラズマ ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： ガスジェット ,  Zピンチ ,  プラズマ ,  デブリ ,  EUV光源 ,  開発