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J-GLOBAL ID：200902268391078712   整理番号：05A0005611

導電性セラミック材料 PLD法により作製された酸化亜鉛薄膜中の酸素拡散

Oxygen Diffusion in Zinc Oxide Thin Films Deposited by PLD Method

著者 (7件)： 両見春樹 (物質・材料研究機構) ,  坂口勲 (物質・材料研究機構) ,  大垣武 (物質・材料研究機構) ,  安達裕 (物質・材料研究機構) ,  竹中正 (東京理大 理工) ,  大橋直樹 (物質・材料研究機構) ,  羽田肇 (物質・材料研究機構)
資料名： 粉体および粉末冶金  (Journal of the Japan Society of Powder and Powder Metallurgy)
巻： 51  号： 12  ページ： 852-858  発行年： 2004年12月15日 
JST資料番号： F0691A  ISSN： 0532-8799  CODEN： FOFUA2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ZnO薄膜の酸素欠陥構造に及ぼす異種イオンの影響を明らかにす...

シソーラス用語： *電気伝導 ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (37件)：

• 1) V.Srikant and D.R.Clarke: "On the optical band gap of zinc oxide", Journal of Applied Phisics, 83(1998)5447-5451.
• 2) T.Xu, G.Wu, G.Zhang and Y.Hao: "The compatibility of ZnO piezoelectric film with micromachining process", Sensors and Actuators A, 104(2003)61-67.
• 3) T.Ohgaki, Y.Kawamura, N.Ohashi, Y.Adachi, T.Tsurumi, F.Minami and H.Haneda: "Optical properties of heavily aluminum-doped zinc oxide thin films prepared by molecular beam epitaxy", Key Engineering Materials, 248(2003)91-94.
• 4) A.Claret and S.Sabioni: "About the oxygen diffusion mechanism in ZnO", Solid State Ionics, 170(2004)145-148.
• 5) D.C.Look, C.Coskun, B.Claflin and G.C.Farlow: "Electrical and optical properties of defects and impurities in ZnO", Physica B, 340-342(2003)32-38.

タイトルに関連する用語 (6件)： 導電性 ,  セラミック材料 ,  PLD法 ,  作製 ,  酸化亜鉛薄膜 ,  酸素拡散