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J-GLOBAL ID：200902272695718235   整理番号：08A0978993

超音波振動攪拌機構を用いた水熱合成法によるPZT圧電薄膜の成膜

著者 (4件)： 道廣善彦 (岡山大) ,  甲昌男 (岡山大) ,  神田岳文 (岡山大) ,  鈴森康一 (岡山大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2008  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.L32  発行年： 2008年09月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *超音波振動 ,  水熱合成 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  オートクレーブ ,  *マイクロアクチュエータ ,  チタン ,  *薄膜形成
準シソーラス用語： *圧電バイモルフ

分類 (3件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  音響の励起・発生  (BB03020V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 超音波振動 ,  攪拌 ,  水熱合成法 ,  PZT ,  圧電薄膜 ,  成膜