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J-GLOBAL ID：200902284744242207   整理番号：04A0914992

金属柵・真空窓を有するプラズマ励振用1m²級一層構造導波管スロットアレーの設計

Design of 1m² Order Single-Layer Slotted Waveguide Array with Conductor Fences and Vacuum Windows for Plasma Excitation.

著者 (7件)： 平野拓一 (東京工大) ,  広川二郎 (東京工大) ,  安藤真 (東京工大) ,  井出哲也 (液晶先端技術開発セ) ,  佐々木厚 (液晶先端技術開発セ) ,  東和文 (液晶先端技術開発セ) ,  中田行彦 (液晶先端技術開発セ)
資料名： 電気学会電磁界理論研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： EMT-04  号： 52-70  ページ： 67-72  発行年： 2004年09月28日 
JST資料番号： Z0909A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 1m²級平板ディスプレイ製造におけるマ...

シソーラス用語： *プラズマディスプレイ ,...
準シソーラス用語： 散乱行列 ,...

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分類 (1件)： 表示機器  (NC06030Q)

引用文献 (20件)：

• GOTO, N. Circularly Polarized Radial-Line Slot Antennas. Technical Report of IECE. 1980, AP80-57, 43-46
• YAMAMOTO, Tetsuya. Design of Radial Line slot Antenna at 8.3 GHz for Large Area Uniform Plasma Generation. Jpn. J. Appl. Phys. 1999, 38, Part 1, 4A, 2082-2088
• YASAKA, Y. Development of a Slot-Excited Planar Microwave Discharge Device for Uniform Plasma Processing. IEEE Trans. Plasma Science. 2004, 32, 1, 101-107
• GOTO, N. A Planar Waveguide Slot Antenna of Single Layer Structure. Technical Report of IEICE. 1988, AP88-39, 39-43
• KIMURA, Y. Alternating-phase fed single-Layer slotted waveguide arrays with chokes dispensing with narrow wall contacts. IEE Proceedings Microwave, Antennas and Propagation, 2001. 2001, 148, 5, 295-301

タイトルに関連する用語 (8件)： 柵 ,  真空 ,  窓 ,  プラズマ ,  励振 ,  導波管スロット ,  アレー ,  設計