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J-GLOBAL ID：200902286487304002   整理番号：09A1005909

電子線描画による局在表面プラズモン共鳴の励起と光学特性評価

著者 (4件)： 滝澤光 (東京工大) ,  遠藤達郎 (東京工大) ,  柳田保子 (東京工大) ,  初澤毅 (東京工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2009  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F20  発行年： 2009年08月25日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では電子線描画を用いてレジスト・Auのコアシェル型貴金属微細構造により局在表面プラズモン共鳴を励起する。構造の形状・大きさを変えることで光学特性の変化を検証し,実験・シミュレーション両面から微細構造と局在表面プラズモン共鳴の関係を解明することを目的としている。(著者抄録)

シソーラス用語： プラズマ共鳴 ,  *表面プラズモン ,  *電子ビームリソグラフィー ,  *光学的性質 ,  金 ,  パターン形成 ,  電場 ,  計算機シミュレーション ,  実証実験 ,  局所性 ,  性能評価 ,  励起 ,  *共鳴励起 ,  *表面プラズモン共鳴法 ,  計算機利用 ,  利用
準シソーラス用語： *表面プラズモン共鳴

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子線描画 ,  局在表面プラズモン共鳴 ,  励起 ,  光学特性評価