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J-GLOBAL ID：200902299690824709   整理番号：07A1013487

イオン注入されたレジストのオゾンによる除去

著者 (5件)： 堀邊英夫 (金沢工大) ,  堀邊英夫 (大阪大) ,  山本雅史 (金沢工大) ,  神村共住 (大工大) ,  田川精一 (大阪大)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 68th  号： 2  ページ： 731  発行年： 2007年09月04日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *イオン注入 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： イオン注入 ,  レジスト ,  オゾン