特許

J-GLOBAL ID：200903099846296435

液体導入プラズマシステム

発明者： 沖野 晃俊 ,  宮原 秀一 ,  大場 吾郎
出願人/特許権者： 国立大学法人東京工業大学
代理人 (1件)： 松山 允之
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2006307123
公開番号（公開出願番号）：WO2006-137205
出願日： 2006年04月04日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：

液体導入プラズマシステムは、プラズマが生じるプラズマ室と、プラズマ室でプラズマを生成するプラズマ生成装置と、液体を直線上に噴出してプラズマ室に入れる噴出装置と、を備えている、液体導入プラズマシステムであり、微少量の液体をプラズマに供給でき、プラズマを発生する電力を低減できるものである。

請求項（抜粋）：

プラズマが生じるプラズマ室と、 プラズマ室でプラズマを生成するプラズマ生成装置と、 液体を直線上に噴出してプラズマ室に入れる噴出装置と、を備えている、液体導入プラズマシステム。

IPC (1件)：

G01N 1/28

FI (1件)：

G01N1/28 T

Fターム (4件)：

2G052AD23 ,  2G052BA05 ,  2G052CA11 ,  2G052GA11