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J-GLOBAL ID：201002273012825195   整理番号：10A0020425

分光学的解析による水中ラジオ周波数プラズマの温度分布

Temperature distributions of radio-frequency plasma in water by spectroscopic analysis

著者 (6件)： MUKASA Shinobu (Graduate School of Sci. and Engineering, Ehime Univ., 3 Bunkyo-cho, Matsuyama 790-8577, JPN) ,  NOMURA Shinfuku (Graduate School of Sci. and Engineering, Ehime Univ., 3 Bunkyo-cho, Matsuyama 790-8577, JPN) ,  TOYOTA Hiromichi (Graduate School of Sci. and Engineering, Ehime Univ., 3 Bunkyo-cho, Matsuyama 790-8577, JPN) ,  MAEHARA Tsunehiro (Graduate School of Sci. and Engineering, Ehime Univ., 3 Bunkyo-cho, Matsuyama 790-8577, JPN) ,  ABE Fumiaki (Graduate School of Sci. and Engineering, Ehime Univ., 3 Bunkyo-cho, Matsuyama 790-8577, JPN) ,  KAWASHIMA Ayato (Fac. of Agriculture, Ehime Univ., Matsuyama 790-8566, JPN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 106  号： 11  ページ： 113302  発行年： 2009年12月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水中の27.12MHzラジオ周波数プラズマにおけるラジカルからの発光強度の分布,電子温度,回転温度を詳しい分光学的測定により明らかにした。この研究を通じて以下のことが観測された。Hα,Hβ,O(777nm),O(845nm)の最大発光強度の位置は殆ど同じであるが,OHの場合は上方にシフトした。電子温度は圧力と共に減少したが,回転温度は増大した。電子温度の分布はしきい値圧力で変化した。これは電子放電機構の変化に関わっている。電極の自己バイアスはしきい値圧力で負から正へ変化した。OHラジカルの最大回転温度の位置は,OH発光の最大強度の位置の約1mm上方へシフトした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *水中 ,  *プラズマ ,  温度分布 ,  放射強度 ,  電子温度 ,  回転温度 ,  ヒドロキシルラジカル ,  *発光スペクトル ,  スペクトロスコピー ,  *RFプラズマ
準シソーラス用語： *高周波プラズマ

分類 (1件)： プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (6件)： 分光学 ,  解析 ,  水中 ,  ラジオ ,  プラズマ ,  温度分布