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J-GLOBAL ID：201002288056840989   整理番号：10A1147015

ワイヤ放電加工面への水熱合成法によるPZT薄膜の成膜

著者 (5件)： 上野雅裕 (岡山大) ,  神田岳文 (岡山大) ,  鈴森康一 (岡山大) ,  道廣善彦 (岡山大) ,  妹尾典久 (岡山大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2010  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.M44  発行年： 2010年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 水熱合成法は立体形状をもつ構造体表面にも容易にPZT薄膜を成膜できる,マイクロアクチュエータの作製に適した手法であり,母材となるチタン板をワイヤ放電加工することにより,機構と一体となったアクチュエータを作製可能である。本研究では,チタン材放電加工面を改善して,PZT薄膜を成膜し,アクチュエータとして評価を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： ワイヤ放電加工 ,  表面 ,  *薄膜 ,  薄膜成長 ,  マイクロアクチュエータ ,  板 ,  機構 ,  表面粗さ ,  電解研磨 ,  振動子 ,  動作 ,  水熱合成
準シソーラス用語： *PZT薄膜 ,  チタン板 ,  バイモルフ型振動子 ,  屈曲動作 ,  構造体表面 ,  水熱合成法 ,  *成膜 ,  超音波撹拌機構 ,  放電加工面

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (5件)： ワイヤ放電加工 ,  水熱合成法 ,  PZT ,  薄膜 ,  成膜