プラズマ温度制御装置及びプラズマ温度制御方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：松山允之 , 池上徹真 , 須藤章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-225485
公開番号（公開出願番号）：特開2010-061938
出願日： 2008年09月03日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：

【課題】プラズマ温度を制御可能にすること、また、室温以下、特に、零下のプラズマを生成可能とすること。【解決手段】プラズマ用ガスをプラズマにするプラズマ発生部と、プラズマ発生部に供給するプラズマ用ガスの温度を制御するプラズマ用ガス温度制御部と、を備え、プラズマ用ガスの温度を制御してプラズマ発生部で発生するプラズマの温度を制御する、プラズマ温度制御装置、及び、プラズマ用ガスの温度を室温より高く又は低く制御し、プラズマ用ガスの温度を制御して、プラズマの温度を任意の温度に制御する、プラズマ温度制御方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラズマ用ガスをプラズマにするプラズマ発生部と、プラズマ発生部に供給するプラズマ用ガスの温度を制御するプラズマ用ガス温度制御部と、を備え、プラズマ用ガスの温度を制御してプラズマ発生部で発生するプラズマの温度を制御する、プラズマ温度制御装置。

IPC (3件)：

H05H 1/46 , H05H 1/24 , C23C 16/50

FI (3件)：

H05H1/46 A , H05H1/24 , C23C16/50

Fターム (6件)：

4K030AA18 , 4K030BA28 , 4K030FA01 , 4K030KA22 , 4K030KA30 , 4K030LA02

引用特許：

審査官引用 (8件)

プラズマ発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-049980 出願人：ノーリツ鋼機株式会社
ワーク処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-045069 出願人：ノーリツ鋼機株式会社
表面処理装置および表面処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-319785 出願人：株式会社日立製作所

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