特許

J-GLOBAL ID：201003057982126205

電磁駆動型アクチュエータ及び電磁駆動型アクチュエータの製造方法

発明者： 進士 忠彦 ,  上原 稔 ,  山本 日登志
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-195367
公開番号（公開出願番号）：特開2010-035348
出願日： 2008年07月29日
公開日（公表日）： 2010年02月12日
要約：

【課題】可動子の大変位が可能なムービングマグネット型の電磁駆動型アクチュエータの提供。【解決手段】固定部2と、可動子1と、可動子1を固定部2に連結して支持する1又は複数の可撓性の支持部3と、可動子1に形成された永久磁石4と、永久磁石4の周囲に磁界を発生させるコイル5とを備え、コイル5が発生させた磁界により可動子1を変位させる電磁駆動型アクチュエータ。可動子1及び支持部3は、シリコン窒化膜により一体形成されており、永久磁石4は、RE2 Fe14BとMとを交互に堆積させた多層膜構造を有する膜状の永久磁石である。但し、REは希土類金属元素の何れか1つ、MはTa,Ti,Nb,Zr及びMoの内の少なくとも1つ。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固定部と、可動子と、該可動子を固定部に連結して支持する1又は複数の可撓性の支持部と、前記可動子に形成された永久磁石と、該永久磁石の周囲に磁界を発生させるコイルとを備え、該コイルが発生させた磁界により前記可動子を変位させる電磁駆動型アクチュエータにおいて、 前記可動子及び支持部は、シリコン窒化膜により一体形成されており、前記永久磁石は、RE2 Fe14BとMとを交互に堆積させた多層膜構造を有する膜状の永久磁石であることを特徴とする電磁駆動型アクチュエータ。 但し、 REは希土類金属元素の何れか1つ、 MはTa,Ti,Nb,Zr及びMoの内の少なくとも1つ。

IPC (4件)：

H02K 33/16 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  H02K 15/03

FI (5件)：

H02K33/16 Z ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H02K15/03 A ,  H02K15/03 G

Fターム (25件)：

3C081BA11 ,  3C081BA21 ,  3C081BA22 ,  3C081BA43 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA54 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA28 ,  3C081CA29 ,  3C081DA03 ,  3C081DA21 ,  3C081EA41 ,  5H622CB04 ,  5H622DD06 ,  5H622QB01 ,  5H633BB08 ,  5H633BB16 ,  5H633GG02 ,  5H633GG09 ,  5H633HH03 ,  5H633HH05 ,  5H633HH11 ,  5H633JA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• プレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-320524   出願人：日本信号株式会社, 江刺正喜

審査官引用 (4件)

• ガルバノミラー及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-015139   出願人：住友金属鉱山株式会社, 日本信号株式会社
• 電磁駆動型アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-100436   出願人：オリンパス株式会社
• 流体の流れを発生させる機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-080645   出願人：日本電信電話株式会社
• 永久磁石薄膜およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-044175   出願人：住友特殊金属株式会社