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J-GLOBAL ID：201102238684383597   整理番号：11A0192656

Ar+H₂+C₇H₈プラズマの水素発光強度計測

著者 (10件)： 野村卓矢 (九大) ,  浦川達也 (九大) ,  山下大輔 (九大) ,  松崎秀文 (九大) ,  内田儀一郎 (九大) ,  古閑一憲 (九大) ,  白谷正治 (九大) ,  節原裕一 (阪大 接合研) ,  関根誠 (名大 院) ,  堀勝 (名大 院)
資料名： 応用物理学会九州支部学術講演会講演予稿集
巻： 36  ページ： 100  発行年： 2010年11月27日 
JST資料番号： L1487A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *放射強度 ,  薄膜 ,  化学蒸着 ,  薄膜成長 ,  *プラズマ ,  *電子密度 ,  炭素薄膜 ,  *放電プラズマ

分類 (1件)： プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ ,  水素 ,  発光強度 ,  計測