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J-GLOBAL ID：201102243152922345   整理番号：11A0095154

RF可変受動素子実現に向けたAll Metal MEMS静電アクチュエータ

著者 (5件)： 白根篤史 (東京工大 ソリューション研究機構) ,  水落裕 (東京工大 ソリューション研究機構) ,  天川修平 (東京工大 ソリューション研究機構) ,  石原昇 (東京工大 ソリューション研究機構) ,  益一哉 (東京工大 ソリューション研究機構)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 27th  ページ： ROMBUNNO.IM-A-1  発行年： 2010年10月14日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *MEMS ,  *アクチュエータ ,  電気回路 ,  可変性 ,  *回路部品 ,  金属材料 ,  金 ,  インピーダンス ,  プロトタイプ ,  多層配線 ,  *静電アクチュエータ ,  高周波回路 ,  行為
準シソーラス用語： RF回路 ,  *受動素子

分類 (2件)： 移動通信  (ND08030H) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (6件)： RF ,  可変 ,  受動素子 ,  ALL ,  MEMS ,  静電アクチュエータ