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J-GLOBAL ID：201102244846388970   整理番号：11A0730973

MEMS静電アクチュエータに向けた高電圧CMOSチャージポンプ回路

著者 (4件)： 白根篤史 (東京工大 ソリューション研究機構) ,  天川修平 (東京工大 ソリューション研究機構) ,  石原昇 (東京工大 ソリューション研究機構) ,  益一哉 (東京工大 ソリューション研究機構)
資料名： 電子情報通信学会大会講演論文集  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集)
巻： 2011  号： エレクトロニクス2  ページ： 108  発行年： 2011年02月28日 
JST資料番号： G0508A  ISSN： 1349-1369  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微細CMOSプロセスを用いて,高電圧を出力できるチャージポンプ回路を設計,試作評価を行った。正負二つのチャージポンプ回路を用いることに加え,クロックに前段の出力を利用すること,さらに各ウェルに適切な電圧を与えることにより,24Vの高電圧の出力を実現し,提案回路の有効性を確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： 励起 ,  *MEMS ,  アクチュエータ ,  半導体プロセス ,  高電圧 ,  *静電アクチュエータ
準シソーラス用語： CMOSプロセス ,  *チャージポンプ回路

分類 (1件)： 電源回路  (NC05060Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  静電アクチュエータ ,  高電圧 ,  CMOS ,  チャージポンプ回路