文献

J-GLOBAL ID：201102283320224421   整理番号：11A1289040

対称性を有する回路のオンウェーハ測定用GSGパッド励振部の電磁界シミュレーションモデリングの一検討

A Study of EM Simulation Modeling for Excitations using GSG Pads with Symmetric Circuit in On-Wafer Measurement

著者 (4件)： 平野拓一 (東京工大) ,  岡田健一 (東京工大) ,  広川二郎 (東京工大) ,  安藤真 (東京工大)
資料名： 電気学会電磁界理論研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： EMT-11  号： 57-65.67-105  ページ： 79-84  発行年： 2011年07月21日 
JST資料番号： Z0909A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： オンチップアナログRF回路のオンウェーハ測定ではプローブをパッドに当てて励振する。このような構造の電磁界シミュレーションを行うためには,パッド部を含めた電磁界モデリングが必要となる。本稿では対称性を有する回路のオンウェーハ測定用GSGパッド励振部の電磁界シミュレーションモデリングについて検討する。今回検討する対称性を有する被測定回路は左右のパッド中心を結ぶ線を含む垂直面に関して対称な構造をしていると仮定する。励振部はパッドのグランド-シグナル間電圧源励振モデルを用いた。パッド部を含めて,電磁界解析結果は測定結果とよく一致した。電磁界シミュレーションでプローブの位置ずれの影響を検討し,影響は非常に小さいことがわかった。(著者抄録)

シソーラス用語： *回路試験器 ,  解析モデル ,  *マイクロ波集積回路 ,  *ミリ波集積回路 ,  高周波回路 ,  *電磁界数値解析
準シソーラス用語： RFプローブ ,  RF回路 ,  *オンウェーハ測定 ,  オンチップ ,  *電磁界シミュレーション ,  電磁界解析

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (4件)：

• DOAN, C. H. Design considerations for 60 GHz CMOS radios. IEEE Communications Magazine. 2004, 42, 12, 132-140
• RAZAVI, B. Design of millimeter-wave CMOS radios : a tutorial. IEEE Trans. Circuits Systems. 2009, 56, 1, 4-16
• ONO, Y. Eigenmode Analysis of Propagation Constant for a Microstrip Line with Dummy Fills on a Si CMOS Substrate. IEICE Trans. Electron., C. 2011, E94, 6, 1008-1015
• HIRANO, T. De-Embedding Method Using an Electromagnetic Simulator for Characterization of Transistors in the Millimeter-Wave Band. IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. 2010, 58, 10, 2663-2672

タイトルに関連する用語 (5件)： 対称性 ,  パッド ,  励振 ,  電磁界シミュレーション ,  モデリング