文献

J-GLOBAL ID：201102239357313883   整理番号：11A1154987

Si CMOS基板上にダミー充填を持つマイクロストリップ線路についての伝搬定数の固有モード解析

Eigenmode Analysis of Propagation Constant for a Microstrip Line with Dummy Fills on a Si CMOS Substrate

著者 (5件)： ONO Yuya (Tokyo Inst. of Technol.) ,  HIRANO Takuichi (Tokyo Inst. of Technol.) ,  OKADA Kenichi (Tokyo Inst. of Technol.) ,  HIROKAWA Jiro (Tokyo Inst. of Technol.) ,  ANDO Makoto (Tokyo Inst. of Technol.)
資料名： IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)  (IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： E94-C  号： 6  ページ： 1008-1015 (J-STAGE)  発行年： 2011年 
JST資料番号： L1370A  ISSN： 0916-8524  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿で著者らは,Si CMOS基板上にダミー充填を持つマイクロストリップ線路につぃての伝搬定数の固有モード解析を述べた。ダミー充填の影響は,それを数GHzの周波数以下で無視できるけれども,特にミリメータ波帯域では,無視できなかった。Si CMOS基板上の周期性構造を持つマイクロストリップ線路の伝搬定数を,線路の1周期の固有モード解析により解析した。計算した伝搬定数と特性インピーダンスを,0.18μm CMOSプロセスにより製作したチップの測定値と比較した。解析と測定間の一致は非常に良かった。ダミー充填の配置上の損失の依存性を,また固有モード解析により調査した。伝送損失は,ダミー充填が電磁場が強い場所に配置された時大きくなる,ことが解った。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： ケイ素 ,  半導体 ,  基板 ,  ダミー ,  充填 ,  *マイクロストリップ線路 ,  *伝搬定数 ,  *固有モード ,  特性インピーダンス ,  伝送損失 ,  電磁場 ,  CMOS
準シソーラス用語： CMOSプロセス ,  *CMOS基板 ,  ICチップ ,  周期性

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  電波伝搬一般  (ND05010Q)

引用文献 (18件)：

• DOAN, C. H. Design considerations for 60 GHz CMOS radios. IEEE Commun. Mag. 2004, 42, 12, 132-140
• DOAN, C. H. Millimeter-wave CMOS design. IEEE J. Solid-State Circuits. 2005, 40, 1, 144-155
• RAZAVI, B. Design of millimeter-wave CMOS radios : A tutorial. IEEE Trans. Circuits Syst. 2009, 56, 1, 4-16
• STINE, B. E. The physical and electrical effects of metal-fill patterning practices for oxide chemical-mechanical polishing processes. IEEE Trans. Electron Devices. 1998, 45, 3, 665-679
• CHANG, J.-H. Effects of dummy patterns and substrate on spiral inductors for sub-micron RF ICs. Digest of IEEE MTT-S International, 2002. 2002, 1, 529-532

タイトルに関連する用語 (7件)： Si ,  CMOS ,  ダミー ,  マイクロストリップ線路 ,  伝搬定数 ,  固有モード ,  解析